Yellow room은 왜 Yellow room일까?

출처 bloomberg.com

Wafer 위에 도포하는 Photoresist(PR)이 단파장의 빛과 잘 반응하기 때문이다.

실제로 PR을 도포한 Wafer 위에 Mask를 올린 뒤 쏘여주는 빛은 강렬한 푸른빛을 띠는 UV(자외선)이다.

그리고 이런 푸른빛 더 나아가 자외선은 붉은 빛(노란 빛)에 비해 파장이 짧다.

따라서 노광 공정 중에는 반드시 파장이 긴 붉은 계열의 조명만을 사용해야 한다.

하지만, 빨간 조명은 사람의 정서에 좋지 못하므로 약간 주황빛이 도는 노란색 조명을 사용한다.

비슷한 맥락으로 PR 용액이 담긴 병을 yellow room 밖으로 가지고 나갈 때 역시 어떠한 빛도 병 안으로 들어오지 못하도록 사진과 같이 은박지로 꼼꼼하게 감싸야한다.