대학원 공부노트

전자 현미경은 우리가 일반적으로 알고 있는 광학 현미경(optical microscope)과 달리 광원으로 전자빔(electron beam)을 사용한다. 이때 빠른 속도로 움직이는 전자는 가시광선보다 짧은 파장을 가져 가시화 영역이 기존의 가시광선 기반 광학 현미경보다 넓다. 따라서 분해능이 매우 높아져 고배율로 관찰하는 것이 가능해진다는 장점이 있으나 전자빔을 이용하기 때문에 빔이 지나가는 경로를 고진공으로 유지해줘야 하며 이는 곧 장비의 가격을 증가시킨다는 단점이 있다. 진공이 아니라면 전자빔이 공기와 충돌하여 에너지가 소실되거나 굴절이 발생하여 제대로 된 측정이 어려워지기 때문이다. 그리고 전자 투사 현미경을 사용할 때 발생하는 전자빔의 에너지는 관찰 대상의 온도를 국소적으로 증가시켜 재료의 구조 ..